微型稱重傳感器

    針對微傳感器技術發展速度快，一些理論、方法及實現技術尚未成熟的特點，本書緊密結合微傳感器的發展動態，對熱、輻射、機械、磁、化學量微傳感器的基本理論及實現技術進行分類闡述，同時介紹了微傳感器系統及其數據獲取與處理方面的知識，旨在為讀者提供一本微傳感器方面的入門讀物。本書幫助讀者在掌握微傳感器基礎知識的基礎上，建立微傳感器設計、研究、制作及實驗分析等方面的基本概念。當遇到具體的微傳感器問題時，能查到專業文獻，能讀懂文獻內容，能自行設計實驗，能為實驗結果進行分析總結。

主要技術參數：

輸出靈敏度： 約1mV/V

非線性： ±0.5%R.O.

零點偏差 ：±0.5%R.O.

滯后性 ：±0.5%R.O.

受壓變形量 ：0.01mm

固有頻率 ：27,42kHz

使用溫度范圍 ：-10℃～60℃

溫度對滿量程輸出影響 ：±1.0%R.L./10℃

溫度對零點輸出影響 ：±2.0%R.O./10℃

輸入阻抗： 350±10Ω

輸出阻抗 ：350±10Ω

推薦激勵電壓 ：DC 5V

載荷 ：150%R.L.

應用：

   微型傳感器是目前zui為成功并實用性的微型機電器件，主要包括利用微型膜片的機械形變產生電信號輸出的微型壓力傳感器和微型加速度傳感器；此外，還有微型溫度傳感器、磁場傳感器、氣體傳感器等，這些微型傳感器的面積大多在1mm2以下。

   隨著微電子加工技術，特別是納米加工技術的進一步發展，傳感器技術還將從微型傳感器進化到納米傳感器。這些微型傳感器體積小，可實現許多全功能，便于大批量和生產，單件成本低，易構成大規模和多功能陣列，這些特點使得它們非常適合于汽車方面的應用。

   汽車用傳感器是用于汽車顯示和電控系統的各種傳感器的統稱。它涉及到很多物理量傳感器和化學量傳感器。這些傳感器要么是史司機了解汽車各部分狀態的，要么是用于控制汽車各部分狀態的。

   汽車用溫度傳感器主要用于檢測發動機溫度、吸入氣體溫度、冷卻水溫度、燃油溫度以及催化溫度等。溫度傳感器有熱敏電阻式、線繞電阻式和熱偶電阻式三種主要類型。這三種類型傳感器各有特點，其應用場所略有區別。熱敏電阻式溫度傳感器靈敏度高、響應特性較好、但線性差，適應溫度較低。

  其中，通用型的測溫范圍-50℃～30℃，精度為1.5%，響應時間為10 ms；高溫型600℃～1000℃，精度為5%，響應時間為10ms，線繞電阻式溫度傳感器的精度高，但響應特性差，熱偶電阻式溫度傳感器的溫度高，測量溫度范圍寬，但需要配合放大器和冷端處理一起使用。其他已實用化的產品有鐵氧體式溫度傳感器（測溫范圍為-40℃～120℃，精度為2.0%）、金屬或半導體膜空氣溫度傳感器（測溫范圍為-40℃～150℃，精度為2.0%，5%，響應時間約20 ms）等。